





在选择前室压差控制器的时候我们要考虑他的综合精度,而前室压差控制器的精度受哪些方面的影响呢?其实造成传感器误差的因素有很多,这是传感器的初始误差。
首先的偏移量误差:由于前室压差控制器在整个压力范围内垂直偏移保持恒定,因此变换器扩散和激光调节修正的变化将产生偏移量误差。
其次是灵敏度误差:产生误差大小与压力成正比。如果设备的灵敏度高于典型值,灵敏度误差将是压力的递增函数。如果灵敏度低于典型值,前室压差控制器作用,那么灵敏度误差将是压力的递减函数。该误差的产生原因在于扩散过程的变化。
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